2023 年全球半导体检测和量测设备的市场份额占比

光学检测技术设备具备高精度和高速度的均衡，设备数量占比具有优势。根据技术路线的原理，检测和量测包括光学检测技术、电子束检测技术和X光量测技术等。与电子束检测技术相比，在相同条件下，光学技术的检测速度可以快1000倍以上。与X光量测技术相比，光学检测技术的适用范围更广，X光量测技术主要用于特定金属成分测量和超薄膜测量等特定的领域，适用场景相对较窄。应用光学检测技术的设备可以较好实现高精度和高速度的均衡，并且能够满足其他技术所不能实现的功能，如三维形貌测量、光刻套刻测量和多层膜厚测量等应用，因此，采用光学检测技术设备占多数。