
大直径刻蚀用硅材料:主要用于加工制成刻蚀设备上的硅电极。公司产品覆盖14英寸至22英寸全规格范围,客户群体广泛分布于中国、日本、韩国等半导体产业核心区域。公司生产并销售的集成电路刻蚀用大直径硅材料纯度为10到11个9,产品质量核心指标达到国际先进水平,可满足7nm先进制程芯片刻蚀环节对硅材料的工艺要求。
硅零部件板块:公司核心优势业务之一,设计产能位居全国领先水平,具备“从晶体生长到硅电极成品”的全流程完整制造能力。公司已成为国产等离子刻蚀机设备厂家的核心上游材料供应商。公司配合国内刻蚀机设备原厂开发的硅零部件产品,已适配12英寸等离子刻蚀机,通过认证并实现批量供货,可同步满足设备原厂持续升级的技术需求;在芯片制造终端领域,公司产品可覆盖绝大多数硅零部件规格,且已通过国内多家12英寸集成电路制造厂的资质评估,订单规模呈稳步增长态势。
半导体大尺寸硅片:公司以技术门槛高、市场容量大的轻掺低缺陷抛光硅片为核心发展方向。公司已具备超平坦硅片、氩气退火片、氧化片等定制标准硅片的规模化生产能力;同