2020-2029年中国大陆半导体行业等离子体射频电源系统市场规模（亿元）

率不足12%。因此，在半导体制造工艺中，等离子体射频电源系统是我国半导体设备“卡脖子”的关键零部件之一，其国产化是实现我国半导体设备自主可控的必要条件。预期伴随中国大陆半导体市场的快速发展以及国产自主化的整体趋势，国产等离子体射频电源系统将保持持续增长的发展态势。

而从下游应用维度来看，等离子体射频电源系统行业在多个下游应用领域中发挥着重要作用，包括半导体、光伏、显示面板、光学镀膜、医疗设备和科研仪器等；其中，半导体是中国大陆等离子体射频电源系统行业最大的下游应用领域。半导体行业由于其制程要求纳米级精度和极高的工艺一致性，在频率稳定性、功率精度、调谐速度和功率重复性上的要求都远高于其他行业。

在中国大陆半导体行业等离子体射频电源系统市场中，中国大陆将半导体产业作为战略性新兴产业，出台《国家集成电路产业发展推进纲要》等政策，从资金、税收、人才等多方面给予支持，为等离子体射频电源系统在半导体领域的发展营造了良好政策环境；此外，本土晶圆厂积极扩产，增加对半导体设备的采购，作为薄膜沉积设备、刻蚀设备等关键零部件的等离子体射频电源系统的需求也随之增长。据弗若斯特沙利文数据统计，中国大陆半导体行业等离子体射频电源系统市场从2020年到2024年，市场规模由42.7亿元增长至65.6亿元，年均复合增长率达到11.3%；并预计未来中国大陆半导体行业等离子体射频电源市场规模将继续快速增长，2025-2029年复合增长率预计为15.6%。

等离子体射频电源系统在光伏电池片的镀膜环节中起到了关键作用，尤其是在Topcon、HJT和XBC等新技术产品的扩产过程中，等离子体射频电源系统的需求逐步放量；光伏行业的技术迭代和扩产需求为等离子体射频电源系统带来了广阔的市场空间。

近年来中国大陆光伏行业等离子体射频电源系统市场保持快速增长趋势，成为光伏制造产业链中不可忽视的关键环节。据弗若斯特沙利文数据统计，中国大陆光伏行业等离子体射频电源系