2020-2029年中国大陆光伏领域等离子体射频电源系统市场规模（亿元）

统市场从2020年到2024年，市场规模由4.8亿元增长至12.9亿元，年均复合增长率达到28.0%。展望未来，预计2025年至2029年，随着Topcon和HJT技术逐步成为主流，高端光伏电池片制造对等离子体射频电源系统的依赖性将显著增强。相比PERC电池，Topcon和HJT工艺对PECVD和PVD设备的需求更高，尤其是在透明导电膜（TCO）和钝化膜沉积环节，等离子体射频电源系统的使用密度显著增加，这将推动市场规模进一步扩大；故该市场将继续保持增长趋势，2029年市场规模有望达23.4亿元，2025年至2029年复合增长率约11.0%。

随着OLED、MicroLED以及柔性显示等新型显示技术的快速发展，对等离子体工艺的要求日益提升，等离子体射频电源系统的高频率、稳定性和精准控制能力成为关键。例如在OLED显示面板中，PECVD和磁控溅射工艺对薄膜层的均匀性和稳定性要求较高，等离子体射频电源系统通过频率和功率的精准控制，显著提升了沉积质量和效率。同时，在MicroLED等新兴技术中，巨量转移和薄膜加工需要更高频率、更高功率密度的等离子体射频电源系统支持，为显示面板行业等离子体射频电源市场进步和扩展提供了有力支撑。据弗若斯特沙利文统计，中国大陆显示面板行业等离子体射频电源系统的市场规模从2020年的8.8亿元增长至2024年的12.7亿元，复合增长率达9.6%，预计到2029年市场规模将突破19.6亿元，年复合增长率为9.8%。

等离子体射频电源系统的应用较为广泛，除了半导体、光伏和显示面板等主要的应用领域，还包括精密光学领域、科研领域、航天领域、医疗等其他领域；其中，医疗和航天领域应用市场增速较快。在医疗领域应用方面，预计应用将持续在现有科室深化，向新的科室和疾病领域拓展。在航天应用领域方面，预计未来等离子体射频电源系统在推进系统、通信技术、材料加工与处理、空间环境模拟等方面应用将更加广泛。据弗若斯特沙利文统计，2024年中国大陆其他行业等离子体射频电源系统市场规模达29.2亿元，2020年至2024年复合增速达2.8%；预计2029年市场规模将增至39.4亿元，2025-2029年复合增长率约为5.4%。