2020-2029年全球等离子体射频电源系统市场规模（亿美元）

根据弗若斯特沙利文统计，2024年全球等离子体射频电源系统市场规模达53.4亿美元，2020年至2024年间复合增速达8.5%；并预计2029年全球等离子体射频电源系统市场规模将增至86.9亿美元，2025-2029年复合增长率约10.6%。

而国内方面，根据弗若斯特沙利文统计，2024年中国大陆等离子体射频电源系统市场规模达120.4亿元，2020年至2024年间复合增速达9.9%；并预计2029年中国大陆等离子体射频电源系统市场规模将加速增长至215.6亿元，2025-2029年复合增长率约为12.3%。

由于我国半导体制造行业起步较晚，目前国产等离子体射频电源系统相较于国际头部厂商的产品在电源波形、频率和功率，以及精准控制等离子体浓度、均匀度等方面存在差距，特别在阻抗的高速匹配、多频率电源、应用于先进刻蚀工艺的偏置裁剪波电源等产品上，国产射频电源发展滞后。目前全球等离子体射频电源系统行业主要由美系两大巨头MKS和AE主导，而国内只有恒运昌等极少数企业的等离子体射频电源系统产品达到与国外对标产品相同、近似的性能、功能指标；根据弗若斯特沙利文统计，2024年中国大陆半导体领域等离子体射频电源系统国产化