2024年全球ALD设备市场竞争格局

截至2024年，ALD市场仍由国外龙头ASMI和TEL主导，两者市占率合计超过70%。其中ASMI一家独大，2024市占率超过55%，其业务覆盖面主要为半导体设备和集成电路（IC），主打ALD设备，2020-2024年ALD收入占比68%。TEL业务更为广泛，在刻蚀、涂胶显影、沉积设备等领域均有涉足，根据TEL内部估算，薄膜沉积设备占其半导体生产设备业务的19%。除国外两大玩家外，国内ALD市场的三大主要玩家为北方华创、拓荆科技和微导纳米。

公司立足于ALD技术，向CVD技术方向拓宽业务。公司ALD设备已涵盖了行业所需主流ALD薄膜材料及工艺，在高介电常数材料、金属化合物薄膜等领域均实现了产业化应用，量产规模不断增加。CVD设备在硬掩膜等关键工艺领域已实现产业化突破，进入存储芯片等领域先进器件量产生产线，并持续推出客户所需的多款关键工艺设备。