2023-26年薄膜沉积设备市场规模（亿美元）

薄膜沉积是指在基底上沉积特定材料形成薄膜，使之具有光学、电学等方面的特殊性能，市场空间广阔。薄膜沉积为半导体晶圆制造中的核心设备，约占整体晶圆制造设备价值量的22%，根据SEMI数据，2025年全球薄膜沉积设备市场规模预计244亿美元，中国薄膜沉积设备市场规模预计84亿美元，约占全球的34%。

ALD+CVD占据薄膜沉积大多市场份额。据Gartner，在2020年全球各类薄膜沉积设备市场份额中，PECVD是薄膜设备中占比最高的设备类型，占整体薄膜沉积设备市场的33%，管式CVD、非管式LPCVD等份额合计约20%多，ALD设备占比约为11%。

全球薄膜沉积设备市场主要由美国的应用材料（AMAT）、泛林半导体（LAM）、日本的东京电子（TEL）、荷兰的先晶半导体（ASMI）等海外企业所垄断。据Gartner数据，2020年全球薄膜沉积设备市场，AMAT市占率高达43%，其次为LAM市占率为19%，TEL居第三市占率为11%，剩余厂商合计占有27%的市占率。分单项产品看2020年全球主要厂商市占率：

2）ALD：ASMI以46%的市占率居领先地位，此外，TEL、LAM、WonikIPS、AMAT分别占据29%、10%、7%、3%的市场份额。