2021 年全球热处理设备市场基本由 AMAT、TEL、日立主导

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数据来源：东吴证券研究所测算,华经产业研究院

最近更新： 2026-01-04

补充说明：1、E表示预测数据；2、*表示估计数据；

北方华创在热处理设备领域，已形成了立式炉和快速热处理设备（RTP）的全系列布局。在国产供应商中，屹唐半导体、北方华创等已形成批量出货，其中公司产品已成功覆盖氧化/扩散炉、RTP等。2025年上半年，公司热处理设备收入超10亿元人民币。