2024年中国干法刻蚀设备市场竞争格局

在ICP方面竞争力尤为明显，产品布局全面。北方华创在ICP刻蚀领域布局完整，覆盖从8英寸到12英寸平台，适配硅基、氧化物、金属、化合物半导体等多类材料及多种关键工艺场景。公司已围绕先进制程中不断提升的深宽比、选择比、低损伤等刻蚀需求，形成系统化解决方案。