
全球离子注入设备海外主导。国产厂商种,凯世通和中科信离子注入设备研发进展顺利;2025年北方华创正式进军离子注入设备市场,填补国内高端离子注入设备空白。全球离子注入设备主要由AMAT、Axcelis等国外厂商主导,2024年AMAT占据全球62.65%的销量市场份额,主要产品为市场需求较多的大束流离子注入机、中束流离子注入机、超高剂量的离子注入机;Axcelis主要产品为高能离子注入机。
万业企业于1991年成立,公司的主营业务是房地产、集成电路核心装备。旗下子公司凯世通是国内领先的高端集成电路离子注入机装备企业。目前,凯世通产品已覆盖逻辑、存储、功率等多个应用领域,是国内首家集成电路离子注入机大束流和高能离