
全球刻蚀设备市场规模呈增长趋势。据SEMI与中商情报网数据显示,2024年全球刻蚀设备市场规模为156.5亿美元,同比增长5.6%,2019-2024年复合年增长率达6.4%。
全球刻蚀设备主要以LAMResearch、TEL、AMAT等国外厂商为主导。2022年全球刻蚀设备市场份额分别为:LAMResearch(47.0%)、TEL(27.0%)、AMAT(17.0%)、Others(9.0%)。
薄膜沉积设备是半导体前道工艺的核心设备之一,它的运作原理是通过物理或化学方法,在基底表面形成一层或多层薄膜。从技术类型可细分为PVD(物理气相沉积)、CVD(化学气相沉积)与ALD(原子层沉积)。