2019年全球薄膜沉积设备市场份额

全球薄膜沉积设备市场规模预计稳步提升。根据观研报告网的数据，2025年全球薄膜沉积设备市场规模将达到340亿美元，同比增速预计为21.4%。

PVD市场

CVD市场

ALD市场

资料来源：Gartner、前瞻产业研究院、国海证券研究所资料来源：观研报告网、国海证券研究所

MOCVD设备方面，公司在全球氮化镓基LEDMOCVD设备市场占据领先地位，并持续拓展其他应用领域。根据公司2023年报，公司用于蓝光照明、深紫外LED和Mini-LED显示的MOCVD产品持续服务客户，此外公司开发的用于氮化镓功率器件生产的MOCVD设备，已交付

多家国内外领先客户进行验证并取得了重复订单，并且公司也启动了应用于碳化硅功率器件外延生产设备的开发，已取得较大的技术进展；

薄膜沉积方面，根据公司2023年报，公司近两年开发的LPCVD及ALD设备已有四款进入市场，其他十多种导体薄膜沉积设备也将陆续进入市场。公司开发的CVD钨设备以及具备三维填充能力的ALD钨设备已通过关键存储客户端现场验证，并获得客户重复量产订单，应用于高端存储和逻辑器件的ALD氮化钛设备也在稳步推进。2024年前三季度，公司LPCVD新增订单3亿元，新产品开始启动放量。