CMP设备产业链

据SEMI数据，2022年中国大陆CMP设备市场规模约6.66亿美元，2020-2022年中国大陆地区CMP设备市场CAGR达24.6%。在半导体技术高速发展、国家产业政策支持、半导体产业迁移等多重利好因素的驱动下，中国CMP设备行业有望持续快速增长。

CMP设备行业产业链上游包括检测系统、控制系统、抛光垫等，中游为CMP设备的设计和制造环节，下游则应用于集成电路、平板显示、MEMS制造、传感器等多个领域。

CMP是集成电路制造过程中实现晶圆表面平坦化的关键工艺。受益消费电子、PC等市场蓬勃发展，以及国产替代不断推进，我国集成电路保持快速增长，集成电路产量从2014年的1015.5亿块增长至2023年的3514.4亿块，年均增速达14.79%。