前道量检测设备产业链

前道量检测设备产业链上游主要为原材料和零部件的供应商，以及技术支持和研发机构。原材料和零部件供应商为前道量检测设备制造商提供生产所需的各类原材料和零部件，如精密机械零件、光学元件、电子元器件等。中游是前道量检测设备制造商。下游是前道量检测设备的用户，主要包括半导体制造企业、科研机构等。

前道量检测设备作为半导体设备市场的重要组成，其市场规模在半导体设备中仅次于薄膜沉积设备、光刻机、刻蚀设备。据统计，前道量检测设备约占半导体设备市场规模的13%。