2023年不同类型光刻机市占率（按出货量）

ASML在高端光刻机市场占据绝对优势，市占率有望继续巩固。从光刻机类型角度分析，ASML是唯一的EUV光刻机供应商，处于垄断地位，同时多种光刻机均有出售，高端光刻机（EUV、ArFi、ArF）的出货量占据绝对优势，市占率分别为100%/92%/80%。据ASML财报数据，2023年ASML各光刻机营收中，EUV光刻机的营收占比近42.6%，其次是ArFi的42.1%，EUV和ArFi作为高端机型，单价较贵，为ASML贡献了主要营收增长动力。作为EUV光刻机唯一的供应商，ASML技术领先、在手专利充足，因此在在高端光刻机的优势短期内难以被追平，未来有望随高端光刻机需求增长而持续获得市场份额，行业龙头效应将更加集中。

高强度研发投入铸起ASML光刻机技术壁垒。2006年至2023年，ASML总计投入研发费用245.48亿欧元，平均研发费用率达到15.5%。通过持续高强度研发投入，ASML在高端光刻机领域构建起绝对领先的技术壁垒。根据ASML官网，2013年ASML收购光刻机光源公司Cymer以提速研发EUV光源，构建起EUV光刻机垄断地位。