2019-2022年全球光刻机出货量（台，按供应商分）

光刻机的出货量与营收稳步提升。ASML、Canon、Nikon三大光刻机供应商占据了绝大多数市场份额，出货量稳步提升，从2019年的359台增长至2023年的667台 ，CAGR达16.75%， 其 中ASML出 货 量 增 长 较 为 明 显 ， 出 货 量 分 别为229/258/309/345/449台 ， 对 应CAGR为18.33%；Canon出 货 量 分 别为84/122/140/176/187台，对应CAGR为22.15%，增长主要来自成熟光刻机；Nikon出货量分别为46/33/35/30/31台，对应CAGR为-9.4%。相应的，三大供应商光刻机营收由2019年的945亿元增长至2023年的1801亿元，CAGR达17.5%。

成熟制程的光刻机出货量增长明显。将这三家公司的出货量按光刻机类型分，结果显示，2019-2023年，EUV光刻机出货量分别为26/31/42/40/53台，ArFi光刻机出货量分别为93/79/85/85/136台，ArF光刻机出货量分别为35/33/25/32/40台（其中Nikon含部分翻新机台）。