高纯烧结碳化硅零部件是集成电路热处理装备反应腔内不可或缺的核心零部件,主要包含立式舟(Vertical Boat)、底座(Pedestal)、衬炉管(Liner Tubes)、内炉管(Inner Tubes)和隔热挡板(Baffle Plates)等,具体使用形态如下: