全球刻蚀用硅部件市场主要被美国、日本和韩国企业垄断,部分企业同时具备大直径硅材料生产和硅部件加工能力。美国企业Silfex为LAM子公司,主要为LAM提供先进的刻蚀用硅部件产品,在全球市场中占据主导地位;Hana约占全球刻蚀用硅部件原厂件市场份额的13.3%,主要客户为TEL、三星电子和AMAT等,且60%以上的硅部件收入来自韩国市场。
全球炉管用硅部件企业主要有盾源聚芯、Sico和Holm三家公司。盾源聚芯依托先进的硅熔接技术,所制造的硅舟、硅喷射管等炉管用硅部件已得到主