
全球炉管用硅部件企业主要有盾源聚芯、Sico和Holm三家公司。盾源聚芯依托先进的硅熔接技术,所制造的硅舟、硅喷射管等炉管用硅部件已得到主流半导体设备厂商和晶圆厂商的认证,在2022年全球炉管用硅部件市场中约占37.3%的市场份额。传统的晶舟制造材料为石英或碳化硅,具备石英舟或碳化硅舟供应能力的企业有Coorstek、Shin-Etsu(信越化学)、Tosoh(东曹)、AGC(旭硝子)和东海碳素等。随着芯片制程的持续迭代,对于炉管用零部件使用性能和芯片加工良率的要求不断提高,炉管用硅部件产品的市场应用空间有望持续提升。
报告期内,公司石英坩埚产品主要应用于半导体硅片的生产领域。全球半导体石英坩埚市场集中度高,具有领先技术工艺优势、成本控制优势和下游硅片厂商认证优势的供应商竞争地位稳固,占据了整体市场的绝大部分份额。随着集成电路行业的发展,8英寸及12英寸半导体硅片出货量持续增长,对应24英寸及32英寸半导体石英坩埚的需求持续增加,目前全球主要的市场份额集中于Momentive、信越石英及SUMCO JSQ事业部。