
刻蚀设备市场规模的47.90%和47.50%,整体占比相当,过去CCP设备市场规模占比更高,后伴随先进制程发展ICP设备需求增速更快、使得ICP设备占比超越CCP设备,近年来由于NAND逐步迈入3D结构时代,存储芯片对CCP设备需求增大,使得CCP设备市场规模占比快速回升,且预计未来将再度反超ICP设备占比。
全球刻蚀设备市场呈现高度垄断格局,泛林半导体、东京电子、应用材料占据主要市场份额。2020年刻蚀机领域泛林半导体、东京电子和应用材料整体市场份额近九成,国产企业中微公司、北方华创和屹唐半导体合计占比2.36%的市场份额,其中中微公司市占率为1.37%,国产成长替代空间广阔。
刻蚀设备在半导体设备环节占比高,全球和国内刻蚀设备市场规模持续增长。根据华经产业研究院数据,2022年全球半导体设备市场中刻蚀设备占比约为22%,是占比最高的设备环节。近几年,全球刻蚀设备市场规模呈现持续增长的趋势,2019-2022年全球刻蚀设备市场规模由110亿元增长至184元,其中,介质刻蚀设备市场规模约84亿美元,导体刻蚀设备市场规模约100亿美元,导体刻蚀设备包括硅基刻蚀和金属刻蚀,预计2023年将增长至192亿美元。国内刻蚀设备市场规模2022年增长至375.28亿元,预计2023年有望增长至500亿元。