
8英寸碳化硅技术已经成为各国竞相布局的战略高地。碳化硅衬底的尺寸(按直径计算)主要有2英寸(50mm)、3英寸(75mm)、4英寸(100mm)、6英寸(150mm)、8英寸(200mm)等规格。碳化硅衬底正在不断向大尺寸的方向发展,全球方面,8英寸碳化硅衬底开始产业化,国外碳化硅衬底头部厂商Wolfspeed的8英寸导电型碳化硅衬底已进入量产阶段,Wolfspeed在2023年7月宣布其8英寸工厂已开始向中国终端客户批量出货SiCMOSFET,说明其8英寸衬底及MOSFET已实现批量应用;国内方面,国内衬底厂商目前仍以供应6英寸衬底为主,虽然已有数家国内厂商具备8英寸碳化硅衬底的生产能力。