工业气体产业链图谱

图7：工业气体产业链图谱

资料来源：亿渡数据、中商产业研究院、公司公告、招商证券

传统煤化工、钢铁等领域对工业气体品质要求较低，但需求量大；电子等新兴领域对工业气体质量要求高，但需求量相对较小。在煤化工、钢铁、化肥、石化等传统行业中，对工业气体要求技术含量较低，但需求量大，占比分别约为22.1、18.41%、16.36%、13.51%，合计占比约70%。电子、新能源等新兴行业对工业气体纯度要求高，技术含量更高，但需求量相对较少，电子领域占比约为4.41%。

资料来源：中商情报网、招商证券

半导体行业对于气源及其供应系统有着苛刻的要求。电子气体的深度提纯难度大，而纯度是气体质量最重要的指标。在芯片加工过程中，微小的气体纯净度差异将导致整个产品性能的降低甚至报废。电子气体纯度往往要求5N以上级别，还要将金属元素净化到10-9级至10-12级。气体纯度每提高一个层次对纯化技术就提出了更高的要求，技术难度也将显著上升。

高纯、超纯气体的生产制备要对上游原料工业气进行全分析，根据杂质成分的复杂程度来设计生产工艺和设备。生产过程中，须采用分析设备实时在线、高精度分析和自动监控。

在充装方面，气体充装工艺过程包括分析、置换、清洁、清洗等。首先要对储存

设备中的余气进行纯度检测分析，检验其是否达到标准要求，若未达须先置换合格后再进行充装，以防产品交叉污染。在充装完毕并分析合格后，须进行防尘和施封后方可交付客户使用。