2023年薄膜沉积存量市场国产化率合计16.19%

图32：2020年薄膜沉积设备竞争格局图33：薄膜沉积设备属于高度垄断行业

其他,27%

LAM,19%

TEL,11%

AMAT,43%

TELAMATLAM其他

数据来源：Gartner，华经产业研究院，国泰君安证券研究数据来源：彭博

图34：2020年薄膜沉积设备格局细拆

数据来源：Gartner，华经产业研究院，国泰君安证券研究

图35：薄膜沉积设备近年国产化率提升迅速图36：2023年薄膜沉积存量市场国产化率合计16.19% 12000 10000 8000 6000 4000 2000 0 20192020202120222023

20%

15%

10%

5%

0%

拓荆科技,

北方华创,9.74%

中微公司,0.75%

盛美上海,1.53%

核心公司合计收入（百万元）国产化率

注：核心公司统计为北方华创薄膜沉积设备、拓荆科技薄膜沉积设备、盛美上海其他半导体设备（电镀、立式炉管等设备）、中微公司MOCVD设备收入总计

数据来源：公司公告，ASMI，TechInsights，VLSIResearch，国泰君安证券测算

数据来源：公司公告，ASMI，TechInsights，VLSIResearch，国泰君安证券测算

国内企业入局各细分领域，全面开启国产化进程。国内厂商纷纷布局薄膜沉积设备，侧重点各不相同。拓荆科技走在行业前列，其薄膜沉积设备已覆盖PECVD、ALD、SACVD/HDPCVD等领域。北方华创以PVD作为起点，

逐渐进军CVD、ALD领域。中微公司在MOCVD设备保持领先，同时钨系列LPCVD产品已全部通过客户现场验证，新开发的ALD氮化钛设备产品性能验证可以达到国际领先水平。盛美上海在LPCVD、ALD、ECD均有布局。