MEMS产业链上游

如在飞机飞行期间，可通过 MEMS 传感器来分析气流环境、声学等信息，同时对系统的控制部件进行研究，在保证飞机平稳运行的前提下，提高燃料系统的运行效果，减少飞机飞行产生的噪音。此外，MEMS 传感器还可用于对宇宙的探索，将其植入到探测设备中，可实现数据的传输，辅助完成拍摄的工作内容。

半导体材料是 MEMS 传感器最主要的原材料之一，在国产化政策支持、半导体产业资本支持力度不断加大以及我国晶圆产能持续扩张等因素的带动下，我国半导体材料市场规模加速扩张，到 2021 年我国半导体材料市场规模达 119.3 亿美元，同比增长 22.2%。

电子陶瓷也是传感器中常见的材料类型之一。得益于下游电子工业、光纤通讯、国防军工等众多行业的巨大市场需求，电子陶瓷行业市场规模不断扩大。2016-2020 年，我国电子陶瓷行业市场规模从 449.8 亿元快速增长至 763.2 亿元。

在半导体产业链中游，主要由 MEMS 生产和封装测试两个产业组成中游，承担起对 MEMS 加工制造以及封装测试的工作。半导体和传感器行业，其产业链多以九宫格方式呈现，故部分分析将 MEMS 产业链梳理成设计 - 加工 - 封装 - 应用，也有将其梳理成材料 - 设计 - 应用的形势。本报告主要以 MEMS 生产和封装视为 MEMS 产业链中游。

在产业链中游，主要是 MEMS 生产企业，即半导体产业中的 Foundry 厂，负责从传感器设计公司拿到图纸，并生产传感器；另一部分是封装测试企业，负责将生产好的一盘晶圆分割，封装，并测试其性能，将 MEMS 传感器交到客户手上。