2020-2022 国内半导体光刻胶市场规模（亿美元）

半导体光刻胶市场增速高于整体市场，国内市场规模增速远高于全球。根据SEMI数据，2022年全球半导体材料市场销售额同比增长8.9%，达727亿美元，其中晶圆制造材料447亿美元，占比61.5%，同比增长10.5%。2021年半导体光刻胶在全球晶圆制造材料市场中份额占比为6%，光刻胶辅助材料占比为8%，合计约14%，规模仅次于硅片、掩模版及电子特气。根据SEMI数据，2022年全球半导体光刻胶市场规模达26.4亿美元，同比增长6.82%，大陆半导体光刻胶市场规模为5.93亿美元，同比增长20.47%。全球和国内的半导体光刻胶市场规模增速均高于整体光刻胶市场增速。同时，国内半导体光刻胶市场增速远高于全球水平，国内半导体光刻胶市场在全球市场的份额占比从2020年的16.9%增至2022年的22.5%。

半导体光刻胶市场中以ArF份额最高，EUV增速最快。根据TECHCET统计，全球半导体光刻胶市场中，按照曝光波长分类，2022年ArF干式和ArFi浸没式光刻胶共计占46%的市场份额，KrF和g线/i线光刻胶市场份额分别为36%和14%。其中由于ArFi浸没式光刻胶主要用于先进制程中的多重曝光过程，因此其需求量为普通光刻胶的2-4倍，份额占比最高。根据TECHCET数据，2022年全球ArFi浸没式光刻胶市场规模为8亿美元，ArF干式光刻胶市场规模为2亿美元。EUV光刻胶规模增速最快，TECHCET预计其2025年将增至2亿美元，2022-2025CAGR约为30%，其次为增速较快的依次为KrF光刻胶和ArFi光刻胶。随着半导体制程提升，ArF（包括ArFi）光刻胶及EUV光刻胶市场有望持续高景气扩容。