ASML同产业链上下游企业建立深度合作

重视技术创新，与客户、供应商、研究合作伙伴、同行共建创新生态系统。ASML不是孤立地创新，而是在强大的创新生态系统中与客户、供应链、研究合作伙伴、同行密切合作。2023年ASML创新成果主要有软X射线（SXR）散射测量，一种革命性的下一代3D计量技术，适用于测量GAA晶体管等先进设备的3D轮廓。生成光滑的镜面，与其他玻璃材料相比，光滑镜面具有更大刚度，能更好应对下一代NXE、EXE系统中的极端舞台加速度。