2022年ASML、Nikon、Canon光刻机市场份额占比

ASML垄断高端光刻机市场，Nikon紧随其后，Canon在中低阶市场中占比较高。ASML拥有绝对优势，2022年共计出货345台；Canon紧随其后，出货量达176台；Nikon相对数量较少，仅出货30台。在超高端光刻机EUV领域中ASML独占鳌头，高端光刻机ArFi和ArF领域也主要由ASML占领；Canon主要集中在i-Iine领域；Nikon除EUV外均有涉及。

光刻机国产化率仅2.5%，上海微电子为国产光刻机绝对龙头。截至2022年，光刻机国产化率仅2.5%，国内企业中，上海微电子是目前中国第一家也是唯一家光刻机巨头，出货量已占国内市场份额超过80%，产品主要涉及ArF、KrF和i-line领域，其已具备90nm及以下的芯片制造能力。此外，还有北京华卓精科、北京科益虹源等国内光刻机企业。