2019年ALD、CVD、PVD设备市场竞争格局

根据SEMI，2023年晶圆制造设备销售额约960亿美元，薄膜沉积设备市场规模约占晶圆制造设备市场的22%，由此推算，2023年全球薄膜沉积设备市场规模约为211亿美元。参考SEMI，2022年薄膜沉积设备中，PECVD设备占比最大，约33%，其次是溅射PVD，占薄膜沉积设备市场19%。

从各细分市场来看，在CVD设备市场中，2019年应用材料全球占比约30%，加上泛林的21%和TEL的19%，三大厂商占据了全球70%的市场份额。在ALD设备市场中，ALD设备龙头TEL和ASM分别占据了31%和29%的市场份额，剩下40%的份额由其他厂商占据。在PVD设备市场中，应用材料则基本垄断了PVD市场，占85%的比重，处于绝对龙头地位。

四大因素推动薄膜沉积设备市场扩容：1）晶圆厂扩产带来设备需求增长；2）先进逻辑制程芯片的沉积工序增多，多重曝光技术拉动薄膜设备需求；3）存储芯片3D NAND成为主流，堆叠层数增加导致薄膜沉积工序增加；4）芯片结构复杂化，由此导致各设备份额的变化。