2019-2029全球半导体前驱体市场规模

前驱体目前技术难点主要有四个方面。容器方面，由于有机材料不稳定，具有可燃性且会遇水反应，因此其对合成、储存及分解都有较高要求，储存所用钢瓶需要进行复杂的处理流程及长时间老化试验；分析方面，前驱体对杂质要求大多在ppb（part per billion）甚至ppt（part per trillion）级别，分析设备也十分昂贵；纯化方面，由于前驱体大多用于先进制程，尤其是前道制程，因此材料品质对于下游客户的成膜质量及后续良率影响很大；生产方面，由于有机材料的不稳定性、遇水反应和腐蚀性等特性，其对生产过程的管道和容器的材料选择、表面处理和封闭性都有十分严格要求。

按照材料种类，前驱体可主要分为金属有机系列和硅系列。金属有机系列种类较多，如high-k（高介电常数），阻挡层等，ALD中应用的产品种类多但每种用量小，单价高，增长速度快。硅系列主要种类包括spacer（光刻阻挡层，如HCDS，乙硅烷等）和low-k（主要用于金属布线时做阻挡层，如二乙基甲基硅烷）。

市场规模方面，据Globa Info Research数据，2022年全球半导体用前驱体市场规模达23.7亿美元，预计2023/2024年市场规模将为19.3/33.7亿美元，并有望在未来保持高增速扩张，预计2029年达54.5亿美元，CAGR为10.9%。

竞争格局方面，应用于半导体生产制造工艺前驱体行业准入门槛高，市场集中度较高，目前生产商基本为德国默克，法国液化空气，美国英特格，日本Tri Chemical，韩国Soul-Brain、DNF、Hansol Chemical等。其中默克为全球最大半导体CVD/ALD用前驱体厂商，据QY research数据，2023年默克半导体CVD/ALD用前驱体全球规模占比29.82%；其次为液化空气，全球规模占比为28.14%。目前，国内半导体用前驱体仍与国外存在差距。国内参与者主要为雅克科技、南大光电及中巨芯等。