光刻产业链：材料零部件-光刻机及涂胶显影机-维保翻新后市场

图2：光刻、量检测、涂胶显影、薄膜沉积（金属CVD及ALD）等环节国产化率低

资料来源：各公司官网、中科飞测招股书、新思界产业研究院、共研研究院等、开源证券研究所

图3：光刻产业链：材料零部件-光刻机及涂胶显影机-维保翻新后市场

资料来源：中商产业研究院、开源证券研究所

1.2、高端工业母机为工业制造注入“新质生产力”

发展新质生产力离不开生产工具的创新突破，工业母机作为制造业的基础装备，是制造各类高端设备的设备，是国家工业化能力提升的重要支撑。工业母机行业企业肩负推动高端化、国产化发展的使命，专注技术突破与自主可控，提升产业链供应链韧性和安全的同时，为下游制造业加快发展新质生产力输出更强动力。2024年，围绕机械工业高质量发展、加快推进新型工业化建设、培育新质生产力等，中国机械工业集团有限公司党委书记、董事长张晓仑提出促进首台（套）重大技术装备发

展和支撑国家高端工业母机发展的建议

以新能源、航空航天为代表的高端产业，派生出高端机床新一轮需求。从数控系统看，2021-2022年，其下游中军工、新能源领域热度较高。我们认为，以新能源产业为代表的民用市场和以航空军工为代表的特殊市场需求将成为工业母机的新一轮驱动，而以五轴联动机床、高精度磨床为代表的高附加值产品增速，有望跑赢行业。