我国电子特气市场规模（亿元）

纯 度 是 电 子 特 气的核 心指 标，先 进 制 程 集 成 电 路 对 纯 度 要 求 更 高。在 先进 制 造领 域 ，即使 是 痕量 的 杂质 也 可能 导致 产 品缺 陷。另外，电 子 特气 在 与精 密 设备 直 接接 触过 程 中，杂 质 可 能 导 致 关 键 工 艺 参 数 偏 移 甚 至 损 坏 仪 器。因 此 ， 下 游 领 域 通 常 对 电 子 特 气 的 产 品纯 度和质 量 稳 定 性 提 出 较 高 要 求 ， 尤 其 是 集 成 电 路 制 造 领 域，随 着 制 程 节 点 不 断 缩 小 ，对 电 子 特 气 的 纯 度 要 求 也 在 持 续 提 高。 集 成 电 路 制 造 对 不 同 气 体 的 纯 度 要 求 不 一 ， 通 常需要 纯 度在5N及 以 上，其中先 进制 程 集成 电 路制 造对 电 子特 气 的纯 度 要求 一般 在6N以上 ，且 对 于 质量 稳 定性 的 要求 也 在不 断 提高 。从28nm到7nm，电 子特 气 的 金属 杂 质要 求下降100倍 、 污染 粒 子体 积要 求 缩小4倍 。

全 球电 子 特 气 市 场 规稳 步 扩 张。在集 成电 路、新 型显 示等 下 游产 业 快速 发 展带 动下 ，近年 来海内 外电子 特 气市 场稳 步 增长 。TECHCET数据 显 示 ，2022年 全球 电 子特 气 市场 规模预 计约为50.0亿美 元 ，同比 增 长10.2%，创 下 历史 新 高 ，2025年 全球 电子 特 气市 场 规模将达 到60.2亿 美元 ，2022-2025年 年 均复 合 增速 约6.4%。中国 半 导体 行 业 协会 和SEMI数据 显 示，2022年我国电子 特 气市 场 规模预 计约为220.8亿 元，2025年 将达 到316.6亿元，2022-2025年 年 均复 合增 速 约12.8%。