
半导体硅片在半导体产业链中位于行业上游,而半导体硅片的上游为原材料和生产设 备,原材料包括多晶硅、石墨制品、切磨耗材、抛光耗材、包装材料等;生产设备包括单晶 炉、切割机、光刻机等。中游半导体硅片可分别按尺寸、加工程度划分。下游为半导体器件 ,包括集成电路、分立器件、光电器件、传感器等。
半导体硅片可以按照尺寸、掺杂程度、工艺等方式进行划分。按照尺寸划分,半导体 硅片的尺寸(以直径计算)主要包括23mm、25mm、28mm、50mm(2英寸)、75mm(3英寸 )、100mm(4英寸)、125mm(5英寸)、150mm(6英寸)、200mm(8英寸)与300mm(12英寸)等规格。自1960年生产出23mm的硅片之后,硅片尺寸就越来越大,到20 0 2年已经可以量产300mm(12英寸)硅片,厚度则达到了历史新高775μm。