2020年全球热处理设备市场格局

根据Gartner统计数据，2020年全球热处理设备市场规模合计15.37亿美元，其中快速热处理设备市场规模为7.19亿美元，氧化/扩散设备市场规模约5.52亿美元，栅极堆叠（GateStack）设备市场规模为2.66亿美元。2025年快速热处理设备

市场规模有望达到9.37亿美元。

快速热处理方面，屹唐股份在国产厂商中居于龙头：应用材料在全球集成电路制造单晶圆快速热处理（RTP）设备领域占据了领先地位。2020年，应用材料占有的全球快速热处理市场份额达到69.72%，屹唐半导体作为唯一一家中国企业以11.50%的市场份额列居第二，国际市场中的其他三位主要公司分别是国际电气、维易科以及斯库林。其中国际电气提供单晶圆表面处理快速热退火设备（含等离子体表面处理快速热退火设备），斯库林和维易科分别提供闪光和激光毫秒退火设备。前五大厂商占据了快速热处理设备的全球所有市场份额。

炉管设备方面：北方华创可提供立式氧化炉、立式退火炉、立式合金炉、立式LPCVD、多功能LPCVD和卧式扩散/氧化系统

图：全球热处理设备市场规模（亿美元）

3.25

3.51

3.28

3.24

3.44

2.66

2.47

6.83

7.25

6.91

6.68

7.1

5.15

5.52

8.87

9.48

8.89

8.82

9.37

6.41

7.19 25 20

图：2020年全球热处理设备市场格局

8.67%

11.50%

69.72%

6.44%3.67% 15 10 5 0 2019 2020

2021E

2022E

2023E

2024E

2025E

快速热处理设备氧化扩散炉栅极堆叠设备

应用材料屹唐半导体国际电气维易科斯库林