
滤波器技术路线众多,SAW、BAW滤波器应用较为广泛。滤波器包括SAW滤波器(Surface Acoustic Wave Filter,声表面波滤波器)、BAW滤波器(Bulk Acoustic WaveFilter,体声波滤波器)等压电滤波器,以及IPD滤波器(Integrated Passive Device,集成无源器件)、LTCC滤波器(Low-Temperature Co-fired Ceramics,低温共烧陶瓷技术)等LC滤波器等。手机滤波器主要采用SAW、BAW等压电滤波器。
(1)SAW滤波器:采用石英晶体、压电陶瓷等压电材料,在输入端通过IDT(InterDigital Transducer,叉指换能器)利用压电效应将无线电信号转换为声信号,在介质压电晶体表面传播,在输出端通过IDT利用逆压电效应将声信号转换为无线电信号,主要适用于1.9Hz以下的中低频段,技术发展成熟、成本较低。SAW滤波器可进一步分为普通SAW、TC-SAW(Temperature compensated SAW,温度补偿型声表面波滤波器)、TF-SAW(Thin-Film SAW,薄膜声表面波滤波器)等类型。
(2)BAW滤波器:采用腔体结构,声波在介质内部传播,具备对温度变化不敏感、插入损耗小、带外衰减大等优势,在5G高频区间与sub-6G的应用中有明显优势,但由于结构和薄膜工艺更为复杂,成本、技术要求较高。BAW滤波器可分为SMR-BAW(固体装配型体声波滤波器)、FBAR(薄膜体声波谐振器)、XBAR(横向激励体声波谐振器)等类型。