2023年TEL各类设备全球市占率

涂胶显影设备的市场参与者主要包括日本东京电子（TEL）、日本迪恩士（DNS）、德国苏斯微（SUSS）、中国台湾亿力鑫（ELS）、韩国CND、中国大陆芯源微与盛美半导体等。

前道涂胶显影设备主要被日本东京电子（TEL）所垄断。前道涂胶显影设备的市场和工艺技术长期以来均被国外厂商如日本东京电子（TEL）所垄断，特别是28nm及以下节点的ArFi浸没式涂胶显影设备，我国目前完全尚未掌握此项技术。根据日本东京电子官网数据，2023年TEL涂胶显影设备（Coater/Developer）在全球的市占率达90%；而根据中商情报网数据，中国涂胶显影设备市场份额中TEL占比达91%，日本迪恩士（Screen）占比5%，芯源微占比4%。