
电子气体包括大宗电子气体和电子特种气体,是集成电路、显示面板、半导体照明、光伏等行业生产制造过程中不可或缺的关键性材料。同时它也是集成电路制造的第二大制造材料。据半导体行业协会以及前瞻产业研究院统计,电子气体在半导体制造材料占比仅次于硅片,占晶圆制造成本的14%。
电子大宗气体和电子特种气体在电子半导体领域的用量可通过在成本的占比看出。在集成电路制造、半导体显示等生产环节更多、生产要求更严苛、制程更先进的细分领域,电子大宗气体占全部气体成本的比例更高。集成电路制造领域电子大宗气体占比55%,而在半导体显示领域电子大宗气体占比更是高达65%。