2023年全球半导体量检测市场结构（亿美元）

资料来源：VLSI，中科飞测公告，国海证券研究所

注：晶圆薄膜量测设备包含晶圆金属薄膜量测设备、晶圆介质薄膜量测设备，关键尺寸量测设备包含电子束关键尺寸量测设备，掩膜版量测设备是指掩膜版关键尺寸量测设备，图形晶圆缺陷检测设备包含明场纳米图形晶圆缺陷检测设备、暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备。