
集成电路测试设备主要包括测试机、分选机和探针台等,测试机是检测芯片功能和性能的专用设备,分选机和探针台是分别将被测的芯片和晶圆与测试机的功能模块连接起来并实现批量自动化测试的专用设备。
分选机主要应用于集成电路设计阶段中的验证环节和封装测试阶段的成品测试环节,主要用途为:分选机将待检测的芯片自动传送至测试工位(用于将芯片与测试机连接并进行测试的位置),待检测芯片的引脚通过测试工位上的专用连接线与测试机的功能模块进行连接,测试机在进行检测之后将测试结果传送给分选机,分选机根据测试结果将检测过的芯片进行标记、分类、收料。