
射频电源市场空间大,但呈垄断格局。据QYR预测2028年全球射频电源市场规模可达13.38亿美元,但目前全球射频电源市场格局集中度高,主要由美国的MKS和AE两家厂商垄断,半导体设备用特种电源的整体国产化率较低(高端产品尚未国产化),以8~12寸晶圆设备射频电源为例,国产化率为1%~5%。
公司在半导体领域射频电源进展较快,已进入合作开发阶段。根据公司2023年6月披露的第二轮审核问询函公告披露,(1)公司对标AMETEK的宽范围液冷直流整流电源产品已经进入工程样机阶段,可广泛应用于半导体制备、光纤制备等领域。(2)公司已经和某半导体装备企业展开合作,为其开发MOCVD设备(用于半导体镀膜)所需的特种电源设备,该电源设备为大功率高精度脉冲电源。(3)公司与某研究所已经签署框架协议,研发激光发生器所需的高密度特种电源,该项目已经展开现场测试验证。
此外,公司积极拓展近年来公司广泛参与国家重大科研基础设施项目的加速器电源制造及更新,是国内少数几家掌握加速器电源关键技术的企业之一。公司于2004年进入加速器电源领域,为“上海同步辐射光源”项目提供大功率静态和动态电源产品,随后又陆续参与兰州重离子加速器、中国散裂中子源等国家重大科研基础设施建设项目,提供电源装备或电源系统交钥匙工程总包。同时,公司积极拓展加速器电源在医疗等其他领域的应用。
2021年该装置正式进入临床试验,打破国外质子治疗设备垄断。并且,国家明确“十四五”期间建设41台粒子治疗加速器设施,配套电源市场有望持续向上。据GlobalInformation预计,2030年全球质子治疗市场将达14.2亿美元,而全球质子放射治疗设备市场主要由瓦里安、IBA等欧美日厂商主导。