特气是除晶圆外第一大半导体耗材,成本占比14%。电子特气是半导体和微电子工业的“血液”,贯穿于晶圆制造中的多个环节,也是半导体制程的核心成本来源。根据SEMI,2022年特气占半导体晶圆制造成本约14%,仅次于晶圆(33%),是第二大半导体耗材。
其余半导体材料成本占比分别为:掩膜板13%、光刻胶及配套试剂13%、CMP材料7%、湿电子化学品4%、靶材3%。
电子气体种类繁多,对应制程环节复杂。根据林德,主流的电子气体种类就高达71种,针对不同气体品种,我们对其半导体应用制程进行详细梳理: