工业气体及电子气体产业链

气体是工业的血液，向下可划分为大宗气体与特种气体。气体（工业气体）是工业生产的重要基础性原材料，被喻为“工业的血液”，广泛应用于半导体、面板、LED、光纤通信、光伏、医疗健康、新材料、新能源、高端装备制造、食品、冶金、化工、机械制造等新兴行业。

按工业气体分类：气体可分为大宗气体与特种气体。其中大宗气体纯度低于5N，产销量较大，包括氧气、氮气、氩气、氨气等通用型产品，主要应用于炼钢、石化、机械等工业领域；特种气体指应用于特定领域且纯度高于5N的精细化气体，广泛应用于电子、医疗、激光、食品等高附加值领域。根据不同的应用领域，电子特气又包括了半导体级、光伏级、面板级、LED级，其中半导体特气对于纯度要求高，国产化率较低，在成膜、光刻、刻蚀、掺杂等制程环节广泛应用。

按电子气体分类：主要包括电子特气与电子大宗气体。电子气体是集成电路制造、半导体显示、半导体器件制造过程中不可缺少的关键材料，被称为电子工业的“血液”和“粮食”，主要分为电子大宗气体和电子特种气体。电子大宗气体：包括氮气、氦气、氧气、氩气、氢气、二氧化碳等六大品种，特点为单一品种用量大，以现场制气模式为主。其中氮气作为环境气、保护气、清洁气和运载气，贯穿半导体的整个工艺流程，为用量最大的电子大宗气体；电子特气：应用于芯片制程的精细产品，包括氟碳类、硅烷类、氟氮类、氢化物等，特点为品种多样，单一用量较小，以气瓶零售模式为主。