2020年全球NF3市场竞争格局（%）

u受益于制程节点微缩以及3D NAND堆叠层数不断增加，所需的刻蚀、沉积和清洗步骤次数大幅提升，推动NF3需求快速增长。TECHCET数据显示，2025年全球NF3需求量有望增长至6.37万吨，或将出现供需缺口。u中船特气表示，2022年起国内NF3项目集中投产导致国内市场出现短暂供大于求现象。但在国产替代大背景下，国内集成电路产线陆续投产，NF3需求快速增长，预计2025年起将出现较大的供应缺口。uNF3国产化较为成功。根据TECHCET数据，2020年中国厂商中船特气全球市场份额为24%，位居全球第二，仅次于韩国厂商SK Materials。