2021年全球电子特气市场规模分布（%）

u同刻蚀类似，腔室清洗同样是利用电场将气体电离成等离子体，再与残留化学物反应，生成易被剥离的反应产物，因此刻蚀气体大多可用于腔室清洗。u由于清洗效果好，完全分解温度低，无害化处理成本低，NF3已成为最主要的腔室清洗气体，同时也是电子特气中价值量占比最高的气体。LinxConsulting数据显示，2021年NF3约占全球电子特气市场规模的20%。u氟气F2由于可现场制作，成本更低，也成为主要腔室清洗气体之一。