射频电源产业链

国际厂商：

•MKSInstrument

•AdvancedEnergy

•DAIHENcorporation

•TRUMPFHüttinger

等离子刻蚀设备薄膜沉积

等离子掺杂设备等离子清洗/去胶设备

国际厂商：

•PSK

•LamResearch

国内厂商：

•屹唐半导体

国际厂商：

•AppliedMaterials

•AxcelisTechnologies

国内厂商：

•上海凯世通

国际厂商：

•LamResearch

•TokyoElectron

•AppliedMaterials

国内厂商：

•拓荆科技

•捷佳伟创

国际厂商：

•LamResearch

•TokyoElectron

•AppliedMaterials

国内厂商：

•北方华创

•中微公司

电感电阻

电容二极管

三极管变压器

模拟IC数字IC

面板散热器

下游

各类零部件

射频电源

上游：射频电源的上游核心零部件如电感、变压器等，主要依靠射频电源厂商自主设计；其余非核心的零部件如MOSFET等主要依靠封装厂供应。

中游：射频电源市场呈现国外头部企业垄断、市场集中度较高的竞争格局，目前射频电源领域尚无成熟的国内生产商。