
半导体测试是半导体生产工艺的重要环节,由于半导体生产过程具有极高的精密性,任何轻微的工序差错都可能导致产品失效,因此测试环节重要性彰显无遗。
半导体芯片的测试主要可分为三个阶段:①芯片设计中的设计验证,即描述、调试和检验新的芯片设计,保证符合规格要求;②晶圆制造中的晶圆测试(CP)以及封装完成后的成品测试(FT),通过分析测试数据,能够确定具体失效原因,并改进设计及生产、封测工艺,以提高良率及产品质量。无论哪个阶段,要测试芯片的各项功能指标必须完成两个步骤,一是将芯片的引脚与测试机的功能模块连接起来,二是要通过测试机对芯片施加输入信号,并检测芯片的输出信号,判断芯片功能和性能指标的有效性。在芯片测试过程中,探针用于连接测试机与芯片来来检测芯片的导通、电流、功能和老化等性能指标,其品质的优劣对芯片的测试效果、生产效率以及生产成本控制都有着重要的影响,是半导体封装与检测中需要使用的重要耗材。
MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystem)即微电子机械系统,通过将微传感器、微执行器、微电源、机械结构、信号处理、控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等子系统集成在一个微米甚至纳米级的器件上,从而达到电子产品的微型化、智能化、低成本、低能耗、易于集成和高可靠性。
MEMS产品通常可分为MEMS执行器和MEMS传感器,其中传感器的市场占比约为70%左右。MEMS执行器主要负责接收电信号并将其转化为微动作,常见MEMS执行器包括微电动机、微开关