国内设备厂商在细分领域逐渐突破。科磊半导体基本实现了对检测量测设备类型的全研发验证,在检测量测领域覆盖了约95%的市场。国内厂商在细分市场设备领域各有侧重,三家厂商设备产品类型覆盖了42.3%的市场空间,其中中科飞测覆盖27.2%。中科飞测正在积极研发纳米图形晶圆缺陷检测设备、晶圆金属薄膜量测设备等其他型号的设备,其对应的市场份额分别为24.7%和0.5%,相关产品研发成功后对检测量测设备市场的覆盖能超过50%。