2020年全球KrF光刻胶市场格局

多家国际光刻胶厂商已实现EUV光刻胶量产。在光刻胶品种的量产进度上，日本东京应化（TOK）、JSR、信越化学等厂商已经实现EUV光刻胶的量产。此外，2019年日本限制对韩国的EUV光刻胶出口后，韩国光刻胶厂商东进世美肯开始研发EUV光刻胶，并在2021年通过了三星电子的可靠性认证；2022年12月三星电子在其一条量产线上使用了东进半导体的EUV光刻胶产品，标志着韩国也实现了EUV光刻胶的国产化量产突破。

日美厂商垄断半导体光刻胶市场。根据富士经济数据，2020年全球KrF光刻胶市场中，东京应化、信越化学、美国陶氏化学、JSR分别占据了31.4%、21.9%、10.9%、21%的市场份额，CR4达85%；ArF光刻胶市场则基本由日本厂商占据，前四大厂商JSR、信越化学、住友化学、东京应化分别占比25%、21.8%、16.8%、15.8%，CR4达80%。