MEMS惯性传感器产业链情况

MEMS惯性传感器产业链可划分为上游器件（含设计、生产、封装、标定测试等）、中游模组、下游系统、终端应用。芯片/组件等元器件位于产业链上游，是产业链中游惯性模组厂商使用的基础核心惯性元器件，此类惯性元器件主要用于自主测量和反馈物体运动速度和角度的变化，并与卫星等其他导控模块形成惯性导航系统、组合惯性系统等，经下游应用端客户集成在相关设备中发挥惯性导航、惯性测量和惯性稳控的作用。根据核心元器件性能由低到高，MEMS惯性传感器产品最终可应用于消费级（消费电子）、战术级（测绘、资源勘探等高端工业、车辆和飞行体）、导航级（航空、长航时无人系统）、战略级（航天、航海）等领域。以MEMS陀螺仪为例：①消费级产品零偏稳定性>15°/h，标度因数精度>1000ppm，角度随机游走>0.5°/√h；②战术级产品零偏稳定性0.15-15°/h，标度因数精度100-1000ppm，角度随机游走0.05-0.5°/√h；③导航级产品零偏稳定性0.01-0.15°/h，标度因数精度1-100ppm，角度随机游走0.01-0.05°/√h；④战略级产品零偏稳定性<0.01°/h，标度因数精度<1ppm，角度随机游走<0.01°/√h。