2020年全球涂胶显影设备行业市场竞争格局

设备结构复杂，机械手等核心零部件需定制化开发且外采成本高。前道涂胶显影设备结构极为复杂，往往包含百余个功能单元、数万余个零部件，其中机械手可以实现晶圆在设备内部多个工艺腔体之间的精确快速传送，是设备的核心零部件，通常需根据晶圆厂客户不同需求进行定制化开发。但海外供应商定制化开发意愿较弱、交货周期较长、售价高昂，芯源微通过对机械手、热盘等核心零部件进行独家定制生产，成功保障了设备性能并显著降低了物料成本。