中国大陆半导体设备销售额及增速

公司涂胶显影设备在后道先进封装领域、化合物、MEMS、LED等小尺寸领域均已取得领先优势。在前道涂胶显影市场中，截至2021年底，公司Offline、I-line设备均已实现量产销售，KrF设备已通过客户ATP验收，ArF及ArFi设备正在研发验证过程中。随着工艺的突破及客户端验证的推进，公司未来可触达市场较目前有望大幅扩展，前道设备放量有望带动公司涂胶显影设备收入及毛利率迎来增长。

公司2019年前道用单片物理清洗设备出厂并在中芯国际深圳厂进行工艺验证，2021年在扬杰科技、青岛芯恩、上海积塔等多家国内重要晶圆厂实现批量应用。目前公司单片式清洗机SpinScrubber设备得技术已达到国际先进水平，正在加速进行国产替代。此外，公司还通过定增募集资金以布局前道单片式化学清洗机，相比于物理清洗机，化学清洗机能适用多种清洗液类型，覆盖的工艺环节更为广泛，可应用于更高工艺等级的前道晶圆制造领域，对未来公司单片清洗机的市场覆盖率和成长空间均有积极作用。